品牌：日本优尼索库公司
型号：USM 1300
主要规格及技术指标：
1. 制备室材料为不锈钢304，腔体外径为253 mm，内壁电化学抛光处理，真空度 好于1.3×10-8 Pa；
2. 能够在加热台上进行直流加热和电子束轰击加热。电子束轰击加热方式下最高温度可以至2000 K；
3. 转换室材料为不锈钢304，腔体外径为114 mm，内壁电化学抛光处理，真空度好于1×10-10 Torr；
4. XY方向扫描范围在 RT/4.2/K/0.4K温度下大于4/1.2/1.2微米，Z方向工作范围在RT/4.2/K/0.4K温度下大于250/70/60纳米；Z向分辨率室温下好于0.02 nm，4.2 K下好于0.01 nm，XY方向分辨率室温下好于0.05 nm，4.2 K下好于0.01 nm；
5. 稳定性77 K下XY方向的漂移小于0.5 nm/hour，4.2 K下好于0.2 nm/hour；
6. 噪音水平4.2 K下低于1 pm，最小隧穿电流小于100 fA，XY平面内，样品能够在±0.5 mm范围内粗动；
7. Inficon晶振膜厚仪，XTC/3 QCM，测量范围：0.0000001 mm。
主要功能：
高稳定度高分辨率地探测表面原子像、局域电子态分布、电子隧道谱、单分子谱，获得低温下材料各种表面现象和磁场下材料的自旋分析。
