联系人及邮箱:贾彩虹 chjia@henu.edu.cn
放置地点:15号楼C座101室
设备简介:型号:4200-SCS;生产厂家:美国/ Keithley Inc;
仪器主要用途:
包含有三个SMU和CVU两种模块,可测量二极管,三极管,MOS管半导体器件的I-V和C-V等电学性质。
主要规格及技术指标:
1.I-V测试:电压测试量程210mV-210V,分辨率1uA-1mV。电流测试量程1.05uV-1mV。电流测试量程1.05pA-1.05A,分辨率10aA-10uA;
2.C-V测试:测试频率为1kHz-10MHz;交流信号为10mVRMS-100mVRMS,分辨率1mV;直流偏置:-/+60V;其电容精度为0.02%,测量范围为1fF-100nF。