联系人及邮箱：张伟风 wfzhang6@163.com
放置地点：15号楼C座105
设备简介：型号：PLD-18L;国别/生产厂家：台湾凯铂;仪器组成：准分子激光器、传样腔、PLD生长腔、高压RHEED系统和循环水冷却系统等。准分子激光器是用KrF气体作为工作物质，波长为248nm。激光经过光路系统聚焦的激光束作用在靶材，靶材吸收能量后在短时间内蒸发产生具有多种粒子的等离子体羽辉。由于等离子体具有一定的动能，能够定向到达衬底表面，并在此过程中与气体发生碰撞。在到达衬底表面后靠着残留能量和加热衬底的能量，快速地成核生长得到具有一定致密度的薄膜。
仪器主要用途：
制备多种薄膜材料。
主要规格及技术指标：
1.真空度达到10-9 Pa；
2.反射式高能电子衍射仪 (RHEED)。
简介