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放置地点:15号楼C座102
设备简介:
型号:Multimode 8
生产厂家:美国 Bruker公司
工作原理:固定一端对力非常敏感的悬臂,带有针尖的另一端悬臂与所测样品小心接触。针尖尖端和样品表面二者接触时,原子之间存在极弱的排斥力。在扫描样品时控制原子间相互作用力恒定,沿X、Y方向扫描时,导致Z方向上扫描器的移动。利用光学检测法,可以测量样品表面任何位置变化,将所测信号放大与转换从而得到样品表面原子级表面形貌。
仪器主要用途:原子力显微镜是一种依赖探针扫描成相的技术,区别于扫描隧道显微镜(C STM),原子力显微镜可以探测半导体、绝缘体的表面,是研究薄膜表面形貌不可或缺的测试手段。整个设备包含三个部分:力检测部分、位置检测部分和反馈系统。
主要规格及技术指标:
1.最大至10 um的扫描范围;
2.横向分辨率nm级别,纵向分辨率0.1nm级别;
3.三种成像模式:接触模式、非接触模式和敲击模式。
4.单条扫描线最大采样点可达16000点;
5.噪音水平<0.03 nm RMS值;
6.分辨率RMS < 0.3 Å (垂直方向),横向分辨率:0.2 nm (XY方向);
7.防漏液扫描器10 微米×10 微米×2.5 微米;
8.具有最新的Peakforce Tapping成像技术;
9.包含三个数字锁相放大器,提供定量相位成像功能,在-180度到180度全线性成像,可直接实现纵向和横向压电响应模式;
10.防震台:进口防震台,横向和纵向频率均达到0.5 Hz。